pin chuck 真空チャック

 

用途: 半導体露光装置のウェハ固定

特長:

- 高精度:平面度0.2μm、L/F0.05μm以下

- 形状制御:ウェハの形状に応じたチャック形状(凹凸制御)

- 吸着応答性:仕様に合わせた平面デザインのカスタマイズ

- 平面度の型の擬は計算方法を演じます: Yeedex(RSM)

stepper pin

 

 

up down

con

 

 

 

 

 

 

more

ceramic  セラミックスの部品

oring  パーフロシール材フッ素ゴムリング

pin  真空チャック

esc  再生製品

psc  セラミックス

quartz  クォーツその他の加工品

wc  超硬合金製高精度薄刃

for  蛍光体プレート フォスセラ®