2010/03/01

Yeedex 發表由 Nihon Ceratec 生產的零熱膨脹近無孔隙之新陶瓷材料ZPF. ZPF 材料因擁有極高密度而可使其表面接近無孔隙, 此特性可解決 particle 問題與產生良好 outgas 特性, 在半導體產業中之高感度曝光機零組件應用上, 有優良的表現.

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