應用於半導體產業黃光製程與晶圓檢查之相關機台使用.
特長:
- 高精度: 平面度在0.2μm、L/F0.05μm以下
- 晶圓接觸凹凸控制
- 晶圓吸附性響應性設計
- Yeedex 真空吸盤平面度模擬演算法(RSM)
精密陶瓷零組件
全氟化橡膠密封環
精密加工真空吸盤
再生製造精密零組件
高溫電漿熔射覆膜
石英與其他之零組件
超薄高硬度碳化鎢刀具
耐熱性PhosCera®螢光擴散板