pin chuck 精密加工真空吸盤

 

應用於半導體產業黃光製程與晶圓檢查之相關機台使用.

特長:

- 高精度: 平面度在0.2μm、L/F0.05μm以下

- 晶圓接觸凹凸控制

- 晶圓吸附性響應性設計

- Yeedex 真空吸盤平面度模擬演算法(RSM)

stepper pin

 

 

up down

no leak

 

 

 

 

 

 

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